主要的電子級(jí)氣體有哪些？

我們都知道電子級(jí)氣體有一定的危險(xiǎn)性，如何保存，都包含哪些種類，和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。

電子級(jí)氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險(xiǎn)，其危害性被不同區(qū)域和不同的工業(yè)組織進(jìn)行了詳細(xì)的危險(xiǎn)等級(jí)分類。對(duì)于一個(gè)大規(guī)模量產(chǎn)的電子工廠，其使用和存儲(chǔ)的電子氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”武器庫(kù)。任何設(shè)計(jì)上、施工中、日常運(yùn)行里存在的隱患都會(huì)對(duì)工廠、人員和環(huán)境帶來(lái)巨大的災(zāi)難。

如何保證電子級(jí)氣體的儲(chǔ)存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征設(shè)計(jì)，在眾多的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如SEMI，NFPA，CGA，F(xiàn)M等都有很詳細(xì)的規(guī)定，目前中國(guó)國(guó)內(nèi)也正在起草針對(duì)電子特種氣體的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言，會(huì)根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對(duì)硅烷輸送系統(tǒng)，特別是BSGS系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)采用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動(dòng)噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

使用電子級(jí)氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)，酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)，溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。換鋼瓶時(shí)的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。

輸送管道一般采用無(wú)縫SS316L EP管。施工采用自動(dòng)軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測(cè)試。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，輸送系統(tǒng)（SDS）正在被使用。其鋼瓶?jī)?nèi)采用負(fù)壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。

氣體偵測(cè)系統(tǒng)(GDS)是全廠生命系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。

電子級(jí)氣體目前主要有：硅烷、氨氣、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環(huán)丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氫、一氧化碳、氖氣、氪氣等。

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