電子級氣體的發(fā)展趨勢

電子級氣體污染控制要求日趨嚴格，那么對于電子級氣體發(fā)展趨勢和立氣體(上海)有限公司為大家詳細分析一下。

隨著電子消費品的升級換代，產品制造尺寸越來越大，產品成品率和控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標，直接與分析儀器技術進步帶來的低檢測極限（LDL）相關聯。如傳統的激光顆粒測試儀可測到0.1微米，而核凝結技術（CNC）可達到0.01微米。

目前12英寸超大規(guī)模集成電路制造線寬已經發(fā)展到45納米， 對于大宗氣體的純度都要求在ppt級別, 顆粒度控制直指CNC分析儀器的下限。實驗室超高亮度發(fā)光二極管（LED）技術指標已達到200Lm/w（流明/瓦）以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于1ppb（十億分之一），氨氣則采用多級精餾生產，技術指標到達7N（7個9）的“白氨”，5N的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至9N。

大宗特氣系統(BSGS)的及時應用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質的連續(xù)性，降低了多次充裝污染風險。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃，提高了吹掃效果。

輸送管路系統普遍采用了316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器（<0.003μm）、VCR接頭等，接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin，同時采用零死區(qū)設計。施工技術采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序。

氣體輸送系統建成后必須經過嚴格的保壓、氦檢漏、顆粒度和水分、氧分以及其它氣相雜質的測試。
大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送

如何滿足大規(guī)模量產工廠對電子級氣體大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送的要求是一個挑戰(zhàn)。

電子級氣體多以集中式供應為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統的數量是根據機臺對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設備必須采用全自動切換供氣，而且多設計了備用設備。對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計。

對于大流量的BSGS，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響，還要考慮氣體經過調壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應。一般而言，氣體減壓后，溫度會降低，甚至液化。這會照成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進行預熱。氣體監(jiān)控系統（GMS）通過計算機網絡，實現對氣體輸送系統的實時監(jiān)控，以確保系統的穩(wěn)定性。

針對液化氣體（如氨氣）的BSGS，采用直接加熱液體的氣化輸送系統(Evaporator)已經研發(fā)成型，很快會在BSGS的應用上推廣。

電子級氣體發(fā)展趨勢不可小覷，和立氣體(上海)有限公司就為大家講解到這里，如有需求電子級氣體，請聯系和立氣體(上海)有限公司，歡迎來詢！