常規(guī)供氣系統(tǒng)和簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料，被普遍的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天等諸多領(lǐng)域。基于投資規(guī)模和產(chǎn)品檔次的不同的實(shí)際要求，工業(yè)界對(duì)電子氣體輸送系統(tǒng)基本有三類需求，之前和大家分享了大規(guī)模供氣系統(tǒng)，接下來和立和大家分享常規(guī)供氣系統(tǒng)和簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)。

2021-12-23 09:35:16 和立氣體（上海）有限公司

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。它們的投資規(guī)模中等，生產(chǎn)線可能是二手設(shè)備，對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。
常規(guī)供氣系統(tǒng)的大宗普通氣體多建立現(xiàn)場(chǎng)氣站，采用現(xiàn)場(chǎng)液體儲(chǔ)罐（LIN, LOX, LAR）或集裝格供應(yīng)方式。氣體由管路系統(tǒng)輸送至廠房，直接開三通送至用氣點(diǎn)。
特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低，生產(chǎn)和管理人員欠缺安全意識(shí)。

由于氣體流量小，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架，配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊。共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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