常規供氣系統和簡單供氣系統

      電子氣體指的是用于半導體、平板顯示、發光二極管、太陽能電池及其它電子產品生產的基礎性源材料，被普遍的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用范圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天等諸多領域?；谕顿Y規模和產品檔次的不同的實際要求，工業界對電子氣體輸送系統基本有三類需求，之前和大家分享了大規模供氣系統，接下來和立和大家分享常規供氣系統和簡單供氣系統。

      常規供氣系統

由于氣體流量小，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架，配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統，有些甚至用單瓶系統。共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊。共用一個抽風系統。系統通常存在安全隱患。

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